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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer
김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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고열전도 SRBSN 세라믹스 물성에 미치는 Si 분말 입도분포의 영향
오현명, 이현권
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Silicon Nitride Deposited by VHF-PECVD using a Multi-tile Push-pull Plasma Source
김기석, 김기현, 지유진, 염근영
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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적층형 Memristor의 논리 연산 동작
김명주, 박주현, 전동수, 손경락, 이병룡, 박태훈, 김태근
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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P-type 실리콘 태양전지에서 QSSPC lifetime 분석을 통한 POCl3 에미터의 특성 평가
박현정, 박효민, 김수민, 정수정, 강윤묵, 이해석, 김동환
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Influence of plasma treatment on passivation properties of silicon nitride.
김재은, 이경동, 이해석, 강윤묵, 김동환
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Multi-tile Push-pull Plasma Source 를 이용한 VHF (162 MHz)-PECVD 의 Silicon Nitride 증착 연구
김기석, 김기현, 지유진, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Modification of Polymer-coated Dip-Pen Nanolithography (DPN) Probe by E-beam Irradiation
임정혁, 김경민, 오신석
한국고분자학회 2015년 가을 학술대회 |
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NF3/H2O 플라즈마 가스를 이용한 산화막 식각 공정에서의 반응 기구 연구
이동환, 박진구, 장성해, 최인찬, 이준, 김민수, 김현태
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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Silicon nitride (SiN) coating optimization on carbon fiber surfaces by wet-thermal methods
김현혜, 한웅, 이해성, 김병주
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
