화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Formation of Nanocrystallites in nc-Si:H Films by Co-sputtering Aluminium and Silicon
심재현, 조남희
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
2 AlCl3와 NiCl2 화합물 분위기를 이용한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화|Solid phase crystallization of LPCVD amorphous Si films using AlCl3 and NiCl2 atmosphere
엄지혜, 안병태
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
1 임피던스 측정법을 이용한 엑시머 레이져 열처리 Poly-Si의 특성 분석|APPLICATION OF IMPEDANCE SPECTROSCOPY TO POLYCRYSTALLINE SI PREPARED BY EXCIMER LASER ANNEALING
황진하, 김성문, 김은석, 류승욱
한국재료학회 2003년 가을 학술대회