| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |