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전기화학적 연마기의 제작 및 특성평가
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Ni 전기도금을 이용한 임프린팅용 다단 스탬프 제작 및 특성평가
전인효, 손일룡, 박창화, 차남구, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Nanoporous Organosilicate Thin Films Templated by Gemini Surfactant
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국고분자학회 2004년 봄 학술대회 |
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기계적, 전기화학적 방법을 통한 slurry에 첨가되는 pH 적정제가 Cu CMP에 미치는 영향 분석|The effect of Cu CMP on pH adjustor of slurry by the Mechanical and Electrochemical analyses
강영재, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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The Effect of NH3 Plasma Treatment on Low Dielectric Organosilicate Thin Film
김수한, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Cu CMP에서 Large sized particles이 연마속도와 표면결함에 미치는 영향|Effects of Large Sized Particles on Removal Rate and Surface Defect during Cu CMP
송재훈, 엄대홍, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향|Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
이명윤, 강현구, Takeo Katoh, 박형순, 백운규, 박재근
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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액상법에 의한 CeO2 나노입자의 제조
박준성, 김진수, 한종희, 남석우
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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기능성 Slurry를 이용한 미래 CMP 공정 기술 개발
이상익, 박형순, 신종한, 김창일, 정종구, 송서영
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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The Effect of Porogen Structure on the Porous Low Dielectric Films
김수한, 차국헌, 한준희
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
