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New vapor-phase deposited polymer films by initiated chemical vapor deposition and their bio-device applications
임성갑
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Efficiency Enhancement of Inverted Organic Photovoltaic Cells with High Aspect Ratio ITO Electrode
안승건, 이재헌, 전환진, 정희태
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Atomic layer deposition of nitrogen doped ZnO and application for highly sensitive coreshell nanowire photo detector
정한얼, 강혜민, 천태훈, 김수현, 김도영, 김형준
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect
박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Initiated chemical vapor deposited polymer films and their applications
임성갑
한국공업화학회 2011년 봄 학술대회 |
| 8 |
N2/H2 plasma를 이용한 Co 원자층 증착 공정 및 물성
윤재홍, 김도영, 김형준
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
| 7 |
Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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HIGH-THROUGHPUT PROCESS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Min Baek, Miry Kim
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 5 |
High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications
Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Monolayer-Precision Fabrication of Mixed-Organic-Inorganic Nanohybrid Superlattices by using Molecular Layer Deposition with Atomic Layer Deposition
성명모
한국고분자학회 2008년 봄 학술대회 |
