| 13 |
Fabrication of TiO2 Nanotube Arrays Using Si-Containing Block Copolymer Lithography and Atomic Layer Deposition: Properties and Potential in Photovoltaic Devices
조경천, 정경옥, 박창홍, 권세훈, 김진백
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
| 12 |
Template-Assisted Fabrication of TiO2 Nanotube Arrays via Si-Containing Block Copolymer Lithography and Atomic Layer Deposition: Properties and Potential in Photovoltaic Devices
조경천, 정경옥, 박창홍, 권세훈, 김진백
한국고분자학회 2012년 봄 학술대회 |
| 11 |
Plasma surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas
이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 10 |
GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 9 |
3D feature profile simulation based on realistic surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in C4F6/Ar/O2 plasmas
장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 천푸름, 이세아, 김진태, 김상곤, 권득철, 송미영, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 8 |
GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process
조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 7 |
Template-Assisted Fabrication of Highly Ordered Freestanding Titanium Oxide Nanotube Arrays via Si-Containing Block Copolymer Lithography and Atomic Layer Deposition.
조경천, 김진백, 박창홍, 구세진, 권세훈
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
| 6 |
3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes
육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 5 |
Polymer Layer based Surface KineticModel on Silicon Dioxide Etch Process in Inductively Coupled Fluorocarbon Plasmas
장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 권득철, 김진태, 김상곤, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
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The Study of Plasma Damage on Wafer Side Wallin Metal Etch Process
함태석, 최정동
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
