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Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Annealing dependence of magneto-optical properties of bismuth substituted yttrium iron garnet films prepared through modified metal-organic decomposition method viet dongquoc, 정종율 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma 박창진, 김창구 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Electrostatic effects on the droplet contact charging phenomena 양석환, 임도진 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Synthesis of Bi-YIG Thin Film by Metal-Organic Decomposition Method Viet Dongquoc, Rambabu Kuchi, Jong-Ryul Jeong 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Charging behavior and electrochemical effect of electrolytes on droplet contact charging phenomena 양석환, 임도진 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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RF magnetron sputtering 방식으로 증착한 Silicon (Si)기판 위의 yttrium iron garnet (YIG) 박막의 구조적, 자기광학적 특성 연구 이예림, 정종율 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |