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구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 12 |
Packaging Integrity Review for Cu/low k applied wafer
유민
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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UV-O3 surface modification effects on the nucleation behavior of atomic-layer-deposited Ru film on low-k dielectric
허재영, 엄다일, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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The Curing Effects of Low-k Material Using Reactive TMSCD as a Porogen.
이희우, 안건우, 민성규, 문봉진, 윤도영
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
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Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석
이진욱, 고천광, 이원규
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu 의 선택적 용해도에 대한 특성분석
이진욱, 이원규
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Pretreatment on the Formation of Nanoporous Low Dielectric Thin Films
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Precure on Physical Properties of Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group
구형준, 차국헌
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Effect of UV Pretreatment on the Formation of Nanoporous Low-k Organosilicate Thin Films
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
| 4 |
Effect of UV Precure on the Organosilicate Thin Films Containing UV Responsive Pendent Group
구형준, 차국헌
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
