화학공학소재연구정보센터
번호 제목
1 ZnO 박막의 구조 및 광 특성에 미치는 스퍼터링 산소분압 및 플라즈마 세기효과|Effects of sputtering oxygen partial pressures and power on structural and optical properties ZnO films on SiO2/Si (001) substrates
한석규, 최준호, 심재호, 조형균, 김효진, 홍순구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회