화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 화학기상증착법을 이용한 Titanium Nitride의 제조|Synthesis of titanium nitride from tetrakis(ethylmethylamino) titanium by the thermal CVD
김성재, 김도형|Seong-Jae Kim, Do-Heyoung Kim
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3 혼합 전구체를 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착 공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of SrTiO3 Thin Films using the Mixed Precursors
허정식, 류현규, 조성일, 조용석, 문상흡|Jung Shik Heo, Hyun-Kyu Ryu, Sung il Cho, Yong Suk Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회
2 화학기상증착반응기에서 금속 갈륨(Ga)과 암모니아(NH3)의 직접반응에 의한 thick GaN 성장과 특성연구|Growth and Characterization of thick GaN film by the direct reaction of metal Ga and NH3 in CVD reactor
양승현, 안상현, 남기석|Seung Hyun Yang, Sang Hyun Ahn, Kee Suk Nahm
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회
1 지르코늄 혼성 유기 실리콘 프리세라믹 고분자를 이용한 무기 복합막 연구|Preparation of inorganic membrane by using Zr - hybridized organo silicon
강필현, 양현수, 이규호|Phil-Hyun Kang, Hyun-Soo Yang, Kew-Ho Lee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회