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반구 형태로 패턴된 사파이어 기판을 이용한 외부양자효율 개선|Improvement of External Quantum Efficiency Using Hemisphere Patterned Sapphire Substrate 이종재, 김상묵, 김광철, 이상헌, 전성란, 이승재, 김윤석, 백종협, 신동찬 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code 서승택, 이광순, 양대륙, 최범규 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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평판형 유도결합 BCl3/CF4 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl3/CF4 Plasma 유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구|A study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas 장수욱, 류현우, 최충기, 문준희, 이장희, 유승열, 임완태, 이제원, 전민현, 조관식, 송한정, 백인규, 권민철, 문성진, 신동현 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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C2F6 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구|Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas. 이건교, 이병택 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구|Optimization of mask fabrication process for EUV lithography 김우삼, 김충용, 김태근, 이승윤, 안진호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성|Etch Stop Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film by Using CeO2 Buffer Layer 권영석, 심선일, 김용태, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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TFT-LCD용 Polyimide계 층간 절연막 재료 김정무, 박이순, 권영환, 한윤수, 김상우, 한영아 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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Current status of hole injection materials for PLED 황진택, 임보규, 강석주, 박두진, 김동유 한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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Bilayer Reversal Imprint Lithography: Direct Metal-Polymer Transfer 서동철, 이홍희 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |