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구리 무전해 도금의 ULSI 회로 내 배선 적용|Formation of Interconnections in ULSI circuits by Copper Electroless Plating
차승환,김재정|Seung Hwan Cha,Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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초임계 CO2를 이용한 Cu의 Nickel 전해도금|Electroplating of Nickel on copper substrates in supercritical CO2
박지영, 이윤우, 김재덕, 이창하, 임종성|Ji-Young Park, Youn Woo Lee, Jae-Duck Kim, Chang-Ha Lee, Jong Sung Lim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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ITO 위에서의 구리 무전해 도금을 위한 팔라듐 증착 방법 연구|A study of Pd deposition method for copper electroless plating on ITO substrate
차승환, 김재정|Seung Hwan Cha, Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금|Ru electroplating for high-density metal-insulator-metal capacitor
권오중, 김재정|Oh Joong Kwon, Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구|Optimized Surface Pre-treatments for Cu Electroless Plating in ULSI Device Interconnection
차승환,김재정|Seung Hwan Cha,Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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반도체 소자용 구리 무전해도금 공정에서 팔라듐 촉매의 전처리 조건에 따른 구리박막의 지형학적 선택도의 변화|The Effect of Pd-Activator Conditioning on Topographical Selectivity in Electroless Copper Deposition of Semiconductor Processing
오윤진,김성희,조성민,정찬화|Youn-Jin Oh,sung hee kim,sung min cho,Chan-Hwa Chung
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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TiN 박막 위에 Palladium을 촉매 활성제로 이용한 구리 무전해도금에 관한 연구|Electroless Copper Deposition on Titanium Nitrade Substrate using Palladium As a Catalytic Activator
오윤진, 박종오, 안경희, 조성민, 정찬화|Youn-Jin Oh, Jong-Oh Park, Kyung-Hee Ahn, Sung Min Cho, Chan-Hwa Chung
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Copper Electrodeposition에 있어서의 Additives에 따른 영향성 연구|Effects of Additives on the Copper Electrodeposition for ULSI Metallization
김덕수, 김도형|Duk-Soo Kim, Do-Heyoung Kim
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Copper electrodeposition을 위한 electroless copper deposition seed layer의 제조|Fabrication of seed layer using electroless copper deposition for copper electrodeposition
김일우, 김덕수, 김도형|Il-Woo Kim, Duk-Soo Kim, Do-Heyoung Kim
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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무전해 도금에 의한 고분자 표면의 금속코팅에 관한 연구|A study on metal coating on polymer surface by electroless plating
허호, 김도현|Ho Hur, Do-Hyun Kim
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
