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Atomic layer deposition and applications for displays
김형준
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Atomic layer deposition of high quality ZnO films grown on homo buffer layer : structural and optical properties
이 석, 임용환, Umar Ahmad, 김상훈, 한윤봉
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Structural and optical properties of ZnO nanoparticles grown by atomic layer deposition
이 석, Ahmad Umar, 임용환, 김상훈, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition
천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Properties of ZnO thin films with various buffer layer thickness deposited by Atomic Layer Deposition
이 석, 임용환, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착
남원희, 강상우, 이시우, 이정현, Steven. M. George
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Preparation and Characterization of ZnO Nano Films by Atomic Layer Deposition
이 석, 최락준, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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고유전체 전극물질로서의 TaN 응용가능성 연구|Research on applicability of TaN as an electrode material for high-k dielectrics
김영순, 이태호, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
