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탄성이 우수한 Photoresist용 Acryl계 Copolymer의 제조 및 특성 안경원, 채헌승, 박연흠 한국고분자학회 2004년 봄 학술대회 |
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PCB(Printed-Circuit Board)를 기초로 한 마이크로 연료전지의 개발 김승완, 김현종, 김현재, 설용건, 한학수 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO 라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code 서승택, 이용희, 이광순 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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미세유체리소그라피법을 통한 단실형 고체산화물 연료전지의 제작|Micro-Patterned Single Chamber Solid Oxide Fuel Cell by Microfluidic Lithography 안성진, 문주호, 이종호, 김주선 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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대기압 플라즈마를 이용하여 Si-wafer photoresist 제거실험에 관한 연구 정미희, 최호석 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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CoTb과 CoZrNb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각 신 별, 박익현, 정지원 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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후막리소그라피법으로 제조된 마이크로스트립 공진기의 고주파 특성|RF Characteristics of microstip resonator fabricated by thick film lithography 조현민, 김경철, 이영신, 박종철, 김형준 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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대기압 배리어 방전을 이용한 포토레지스트 에싱|Atmospheric pressure dielectric barrier discharge processing for photoresist ashing 이수빈, 김선애, 심연근, 김윤기 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Process Development of Photoresist Removal from Commercial Silicon Wafers Using Supercritical Carbon Dioxide 유기풍, 한갑수, 김선영 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |