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학술대회 목록보기

번호	제목
39	Improvement in LED structure for enhanced light-emission\|Improvement in LED structure for enhanced light-emission Seong-Ju Park 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
38	고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구\|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
37	초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술\|Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors' electrodes 김현우 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
36	ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성\|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition 한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
35	원자층 화학증착법으로 제조된 WC(Tungsten Carbide)막의 증착 특성 김영재, 박준형, 김도형 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
34	MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각 박형조, 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
33	n-전극 위치에 따른 InGaN/GaN 다중 양자우물 발광 다이오드의 전기적·광학적 특성 최락준, 한명수, 강형곤, 이 석, 이형재, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
32	FBAR 소자제작을 위한 Patterning 공정 연구 최승혁, 김종성 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
31	Angular dependences of etch rates of Si and fluorocarbon polymer in SF₆, C₄F₈, and O₂ plasmas for advanced Bosch process 민재호, 이겨레, 이진관, 문상흡 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
30	반도체 Wet Cleaning Process 조일현 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회