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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Influence of sputtering parameters on the optical and electrical properties of rf–sputtered In2O3-ZnO films
리유에롱, 민수련, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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The Role of Energetic Particle Bombardment in Deposition of Thin Film Oxide Phosphors by Sputtering
Cho Yeon Lee, Jin Hong Heo, Joo Han Kim
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effects of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering
송현돈, 김영진
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Superhydrophilicity of TiO2 thin film deposited on Cr substrate by RF-magnetron sputtering
이기선, 이상훈, 전태호, 서성만
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Sputter를 이용하여 상온에서 제작된 고유전 Ti1-xSixO2 게이트 절연막 (Room temperature fabricated high-k Ti1-xSixO2 gate dielectrics prepared by sputtering)
김성연, 함문호, 오병윤, 명재민
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Lifetime improvement of AZO thin films by electrolysis process and its application OLED
정종국, 이성의, 임실묵
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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후 열처리에 의한 Ga이 도핑된 ZnO 박막의 결정립 변화가 전기적 특성에 미치는 영향
문대용, 문연건, 김쇄현, 박종완
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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RF magnetron sputtering으로 증착한 Mo박막의 증착조건에 따른 Nacl 수용액에서의 부식거동
서보현, 이상혁, 서종현
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Microstructure And Dielectric Properties Of Zinc Titanate Thin Film
Jin Suk Jung, Yong Hee Kang, Dong Heon Kang
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
