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Resists based on polysilsesquioxane for 157-nm lithography
김진백, 최보윤
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Negative Resists Based on Acid-catalyzed Acetalization
김진백, 장지현, 고종성
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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The Generation of 2D Metallic and Polymeric Nanopattern by Soft Lithography
최대근;양승만
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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CHF3 플라즈마에서 다공성 저유전율 물질 식각의 각도 의존성|Angular Dependence of Porous Low-k Material Etch Rate in a CHF3 Plasma
황성욱,이겨레,민재호,문상흡|Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Jae-Ho Min,Sang Heup Moon
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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InGaN/GaN 다중 양자우물 발광 다이오드의 플라즈마 식각 손상 특성|Plasma-Induced Etch Damage of InGaN/GaN Multiple Quantum Well Light-Emitting Diodes
최락준,최창선,박형조,한윤봉|Rak-Jun Choi,Chang-Sun Choi,Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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식각 손상된 InGaN/GaN 다중 양자우물 발광 다이오드의 전기적 특성 회복|Improvement of Etch-Damaged Electrical Properties of InGaN/GaN Multiple Quantum Well Light-Emitting Diodes
최락준,박형조,최창선,한윤봉|Rak-Jun Choi,Hyung-Jo Park,Chang-Sun Choi,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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INVAR 강 식각용액의 중금속 분리/회수 공정에 관한 연구|A Study on the Separation and Recycling of the heavy metals from the etchant of INVAR alloy
박무룡,송민철,박진호,|Mooryong Park,Minchul Song,Chinho Park,Jaeho Park,Choongho Kim,Goohak Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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나노 크기의 InGaN/GaN 다층양자우물 LED의 제조|Fabrication of Nano Multiple Quantum Well InGaN/GaN Light-Emitting Diodes
한윤봉|Y. B. Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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InGaN/GaN 다층양자우물 LED구조의 Cl2/Ar ICP 식각|Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Etching of InGaN/GaN Multiple Quantum well Light-Emitting Diode Structure
박형조, 최창선, 최락준, 홍주형, 한윤봉|H. J. Park, C. S. Choi, R. J. Choi, J. H. Hong, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
