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Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 박막의 식각|Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Films with Cl2/Ar Discharges
한윤봉|Bum-Chul Cho, Yeon-Ho Im, Jin-Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Display Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구|Studies on the Etching Process of Display Shadow Mask
윤덕선, 이근우, 박진호|Deoksun Yoon, Gunwoo Lee, Chinho Park
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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Shadow Mask 식각 공정을 위한 Multi-Nozzle 시스템의 최적 설계|Optimal Design for a Multi-Nozzle system of Shadow Mask Etching process
김병철, 정재학, 이문용, 이건우|Byeungcheol Kim, Jaehak Jung, Moonyong Lee, Gunwoo Lee
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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Display Shadow Mask(DSM)용 Invar 합금의 식각 공정에 관한 연구|Studies on the Etching Process of Invar Alloy used in DSM
윤덕선, 박진호, 이근우|Deoksun Yoon, Chinho Park, Gunwoo Lee
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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백금 박막의 반응성 에칭 특성|Reactive Etching Characteristics of Platinum Films
김진홍, 우성일|Jin Hong Kim, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각|Generation of Neutral Stream From Helicon Plasma and Its Application to Si Dry Etching
정석재, 양호식, 조성민|Seok-Jae. Jeong, Ho-Sik. Yang, Sung Min. Cho
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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Picture Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구|A Study on the Etching Process of Picture Shadow Mask
윤덕선, 여석기, 박진호|Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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Cl2/CO를 이용한 백금박막의 화학적 건식식각 특성|Chemical Dry Etching of Platinum Films using Cl2/CO Gas Mixture
김진홍, 우성일|Jin Hong Kim, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
