화학공학소재연구정보센터
번호 제목
54 플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각 (Reactive Ion Etching of GaAs in BCl3  plasma) 
이성현, 노호섭, 최경훈, 박주홍, 조관식, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
53 축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime)
박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
52 축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교
노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
51 SF6/O2/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구
주영우, 김재권, 박연현, 노호섭, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
50 Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구
박주홍, 이제원, 김재권, 이성현
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
49 O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
48 기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
47 Fabrication of Moth-eye pattern on GaN based light-emitting diodes using UV-imprinting process
홍은주, 변경재, 이헌
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
46 Studies on the Fabrication Process of Porous Anodic Aluminum Oxide Nanotemplate
나영희, Umme Farva, 박진호
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
45 Macro porous silicon structure for micro energy source
이성호, 김충기, 진정근, 권세진
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회