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플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각 (Reactive Ion Etching of GaAs in BCl3 plasma) 이성현, 노호섭, 최경훈, 박주홍, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime) 박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교 노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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SF6/O2/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구 주영우, 김재권, 박연현, 노호섭, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구 박주홍, 이제원, 김재권, 이성현 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Moth-eye pattern on GaN based light-emitting diodes using UV-imprinting process 홍은주, 변경재, 이헌 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Studies on the Fabrication Process of Porous Anodic Aluminum Oxide Nanotemplate 나영희, Umme Farva, 박진호 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Macro porous silicon structure for micro energy source 이성호, 김충기, 진정근, 권세진 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |