| 번호 | 제목 |
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기체질소 주입 시 세정용액에 따른 마그네타이트 탈착율 연구 송찬호, 이인형, 박병기, 안현경, 권혁준, 강신영, 장세빈 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
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EUV Mask의 내구성 향상을 위한 cleaning chemistry별 표면 특성 연구 윤미현, 오지숙, 임상우 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
| 38 |
세정용액에 대한 부식율 연구 권혁준, 이인형, 박병기, 안현경, 송찬호, 강신영 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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용액의 조성과 기포발생주기에 따른 마그네타이트 탈착율 비교연구 송찬호, 이인형, 박병기, 안현경, 권혁준, 강신영 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
| 36 |
내부순환형 탈황장치(Turbo-FGD)의 SO2 제거성능 특성 박영옥, 박현진, 박명렬, 김용하 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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2nd Cu CMP 공정 후 유기산(organic acid)을 포함한세정액의 영향성 연구 조범구, 권오중, 김영준, 배재한, 김재정 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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반도체 후공정에서 세정공정 및 세정액 특성 평가 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
| 33 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
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포토마스크 헤이즈 형성 방지를 위한 DIO3 세정 공정 조건 양자현, 임경택, 윤미현, 임상우 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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BEOL 공정에서의 Cu의 부식 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
