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Co 선택적 증착에 열처리가 미치는 영향(Effect of post-annealing on the Co selective deposition)
박희정, 이재갑
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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SiO2 wafer 표면에 Self-Assembly Monolayers를 이용한 전도성 고분자 poly(3,4-ethylenedioxythiophene)(PEDOT)의 증착 및 Patterning 연구(Deposition and patterning of poly(3,4-ethylenedioxythiophene) on SiO2 wafer by Self-Assembly Monolayers)
팽일선, 이재갑
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Mo 기판위에서 Ag 첨가에 의한 Cu 박막의 특성조사|Character of copper films by addition of silver on molybdenum substrate in an advanced metallization process
이현민, 이재갑
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Co2(CO)8(Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구|Highly conformal deposition of pure Co films by MOCVD using Co2(CO)8 as a precursor
이정길, 이재갑
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Polymer 기판에서 구현 가능한 PEDOT 증착과 Co의 선택적 증착 공정에 관한 연구|PEDOT film deposited and Co films selectively deposited on polymer substrate.
권태욱, 이재갑
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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SAMs을 이용한 금속 박막의 선택적 증착특성 연구|Selective deposition of metal thin films using SAMs process
양희정, 이정길, 이재갑
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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템플레이트에서 원자층 증착기술을 이용한 금속산화물 나노튜브의 제작방법|The novel Fabrication method of the metal oxide nanotube on template using atomic layer deposition
정대균, 박노헌, 성명모, 이재갑, 신현정, 김지영
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
