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Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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LTCC 모듈 적용을 위한 Post 전극에 관한 연구
김용석, 박성열, 장병규
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Piezoelectric Energy Harvesting using Multi-layer Ceramics
김형찬, 송현철, 정대용, 강종윤, 김현재, 윤석진, 주병권
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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초임계 이산화탄소를 이용한 효율적인 수용성 웨이퍼 에칭 residue의 제거 방법
김승호, 임권택, 정재목, 이민영
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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전처리에 따른 HfO2 MOS-Cap의 전기적 특성 평가
양대준, 김주연, 손영준, 김현철, 김영배, 최덕균
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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커패시터를 내장한 인쇄회로기판의 특성에 미치는 전해연마 처리의 영향
진현주, 이승은, 강형동
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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압전 방식 액츄에이터 제작과 전기 기계적 특성
이장근, Pham Van So, 여재진, 신상훈, 이재찬
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Electrical Bistability and Its Switching in the Polar Polymer Film Coated on the Nano-Structured Aluminum-Oxide Electrode
임선정, 김재복, 김장주, 박수영
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells
전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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TiO2 박막의 다층 증착에 의한 Re-RAM 특성 변화|Characterization of TiO2 deposited layer by layer for Re-RAM
김경래, 이태호, 박인성, 고한경, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
