화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Water glass를 사용한 에어로젤 블랑켓의 단열특성 향상|Thermal insulating property Improvement of Waterglass based Aerogel blanket
김창열, 신희연, 이종규, 김병익
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
4 Cu CMP에서 나노 콜로이달 입자의 크기가 연마제거율과 Cu/TaN 선택비에 미치는 영향|Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP
박진형, 김민석, 백운규, 박재근
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
3 Zr함량 변화에 따른 합금형 U-Zr연료와 HT9 피복재의 계면반응|Interfacial reaction between alloy type U-Zr fuel and HT9 according to concentration of Zr
이봉상, 박원석, 송태영
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
2 Pd deposited by atomic layer deposition on TaN substrate and Cu fill-up of the damascene structure using electroless deposition
김영순, Jay J. Senkevich, Toh-Ming Lu, 양회창, 김길성, 신형식
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
1 Self-annealing effect of electrolessly deposited copper thin films based on Co(II)-ethylenediamine as a reducing agent
이창화, 김재정
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회