| 9 |
Deep RIE를 이용하여 제작된 마이크로 노즐 내에서 유체의 거동에 대한 컴퓨터 시뮬레이션 분석
정규봉, 송우진, 천두만, 여준철, 안성훈, 이선영
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
| 8 |
Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 7 |
Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
| 6 |
Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 5 |
Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage
이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 4 |
Bosch process에 의한 식각형상 예측을 위한 전산모사
김창규, 이도선, 이원종
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 3 |
Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process
권혁규, 이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 2 |
Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 1 |
Angular dependences of etch rates of Si and fluorocarbon polymer in SF6, C4F8, and O2 plasmas for advanced Bosch process
민재호, 이겨레, 이진관, 문상흡
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
