| 번호 | 제목 |
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Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu 의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 이원규 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술|Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors' electrodes 김현우 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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포토마스크 제조 공정에서의 현상, 습식 식각 및 세정 기술 고찰 손용석, 이철중, 조준식, 정상현 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
