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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구
탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구
장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product
조현철, 정재경
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor
Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Characterization of various phenolic resins as spin-on carbon hardmask materials
노미소, 이병민, 최재학
한국고분자학회 2019년 봄 학술대회 |
| 314 |
INVESTIGATION OF THE FORMATION OF WOX DURING W CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
Palwasha Jalalzai, 박진구, Maneesh Kumar Poddar, 류헌열, 정연아, 김태곤
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases
길유정, 김두산, 김주은, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes
유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
