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MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각
박형조, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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INVAR 강 식각용액의 중금속 분리/회수 공정에 관한 연구|A Study on the Separation and Recycling of the heavy metals from the etchant of INVAR alloy
박무룡,송민철,박진호,|Mooryong Park,Minchul Song,Chinho Park,Jaeho Park,Choongho Kim,Goohak Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Level set 방법을 이용한 실리콘 식각 프로파일 모사|Simulation of Silicon Etch Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Shadow Mask 식각 공정을 위한 Multi-Nozzle 시스템의 최적 설계|Optimal Design for a Multi-Nozzle system of Shadow Mask Etching process
김병철, 정재학, 이문용, 이건우|Byeungcheol Kim, Jaehak Jung, Moonyong Lee, Gunwoo Lee
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
