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C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구 탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Discovery of a gaseous sH hydrate former through phase equilibria and structure identification 김은애, 서용원 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Adsorption Equilibrium And Breakthrough Dynamics For N2O Recovery From The Adipic Acid Process 박두용, 김정훈, 안형웅, 이창하 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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Study of Rh/Al2O3 pellet catalyst for N2O decomposition 김민재, 김혜정, 김연진, 이승재, 유인수, 고창현, 이기봉, 전상구 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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A comparative study on morphology of ceria supported catalyst for N2O decomposition 김혜정, 김민재, 김연진, 이승재, 유인수, 이광복, 전상구 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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Catalytic pyrolysis of Refrigerant HFC-134a Gamal L. Sudibya, 김영민, 한태욱, 이태호, 이보람, 김승도 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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산업 발생 SF6(F가스) 고온 열분해 및 고정화 기술 개발 정진영, 박찬영, 박성열, 윤여일, 전일수, 김영은, 남성찬 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |