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물리증착에서 지방산분포의 측정
정수영, 김영한, Keisuke Fukui, Kouji Maeda
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Fabrication and testing of thin film bulk acoustic wave resonator using deep Si etch process
안영배, 문정현, 이종호, 이재빈, 정학준, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Microstructure And Dielectric Properties Of Zinc Titanate Thin Film
Jin Suk Jung, Yong Hee Kang, Dong Heon Kang
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
| 7 |
Deep RIE 공정을 이용한 차세대 이동 통신용 멤브레인 구조의 FBAR 제작
안영배, 문정현, 이재빈, 김형준
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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적층형 구조로부터 상호 확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성 분석
이진욱, 송병윤, 함성식, 이원규
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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후막리소그라피법으로 제조된 마이크로스트립 공진기의 고주파 특성|RF Characteristics of microstip resonator fabricated by thick film lithography
조현민, 김경철, 이영신, 박종철, 김형준
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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FBAR 소자제작을 위한 Patterning 공정 연구
최승혁, 김종성
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Protein detecting sensor by using piezoelectric MEMS resonators
이정훈;김형준;김태송
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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FBAR 소자용 Si Membrane 구조제작 및 ZnO 압전 박막 증착|The fabrication of membrane structure for FBAR and the deposition of ZnO piezoelectric thin film
임석진,김종성|Seok-Jin Lim,Jong Sung Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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고감도 50 MHz 수정진동자를 이용한 DNP 항원항체반응의 측정|Detection of Antigen-Antibody Reaction of DNP by Using High Sensitive 50 MHz Quartz Resonator
한대상, 黑澤茂, 愛澤秀信, 吉本稔, 戶塚光裕, 小林光一, 口眞弘, 한성웅, 장상목|Dae-Sang Han, Shigeru Kurosawa, Aizawa Hidenobu, Yoshimoto Minoru, Totsuka Mitsu
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
