번호 | 제목 |
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반도체 기억소자 커패시터용 금속산화물 박막의 CVD|CVD of metal oxides for storage capacitors of semiconductor memory devices 조성민, 양호식|Sung M. Cho, Ho-Sik Yang 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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졸-겔법으로 성장된 PZT계 박막의 특성분석|Characterization of PZT-based thin films prepared by the sol-gel method 양호식, 조성민|Ho Sik Yang, Sung Min Cho 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |