화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 반도체 기억소자 커패시터용 금속산화물 박막의 CVD|CVD of metal oxides for storage capacitors of semiconductor memory devices
조성민, 양호식|Sung M. Cho, Ho-Sik Yang
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회
1 졸-겔법으로 성장된 PZT계 박막의 특성분석|Characterization of PZT-based thin films prepared by the sol-gel method
양호식, 조성민|Ho Sik Yang, Sung Min Cho
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회