| 10 |
ZnO Nanofilms Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
김진환, 최한석, 한윤봉
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
| 9 |
Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
| 8 |
Characteristic Study ZnO Nanofilms Grownby Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
김진환, 김진석, 한윤봉
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
| 7 |
Fabrication of ZnO Nanofilms Grown by Plasma Enhanced Atomic LayerDeposition: Structural, Optical and Electrical Properties
김진환, 김진석, 한윤봉
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 6 |
Nucleation Characteristics of Tellurium during Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)
석경석, 정하나, 임경택, 김도형, 우희권
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 5 |
Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers
김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 4 |
Electrical and Structural Properties of ZnO Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)
김진환, 김상훈, 김정현, 한윤봉
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 3 |
Effect of plasma treatment to surface of the titanium oxide deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
김웅선, 고명균, 김태섭, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 2 |
Titanium oxide thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for encapsulation of organic devices
김태섭, 김웅선, 고명균, 박종완
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
The Growth of the lanthanum oxide thin films for application as a gate oxide by plasma enhanced atomic layer deposition
Jun-Ho Moon, Myoung-Gyun Ko, Eun-Joo Lee, Sang-Kyun Park, Min-Soo Hong, Yoo-Jin Jeon, Jong-Wan Park
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
