번호 | 제목 |
---|---|
3 |
Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method 김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
2 |
CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성|Etch Stop Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film by Using CeO2 Buffer Layer 권영석, 심선일, 김용태, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
Rapid three-dimensional passive rotation micromixer using breakup process 박성진;김중경;박준하;정석;정찬일;장준근 한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |