화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method
김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
2 CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성|Etch Stop Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film by Using CeO2 Buffer Layer
권영석, 심선일, 김용태, 최인훈
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1 Rapid three-dimensional passive rotation micromixer using breakup process
박성진;김중경;박준하;정석;정찬일;장준근
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회