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A Study on the Properties of TiN Films by Using Electron Beam Irradiation
신창호, 정철우, 이영진, 이학민, 허성보, 김태완, 김대일
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Mesoporous, 2D Hexagonal Carbon Nitride and Titanium Nitride/Carbon composites
전영시, 홍원희, Markus Antonietti, Arne Thomas
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Palladium Catalyzed Copper Films Deposited from Two Immiscible Supercritical Phases and Subsequent Reaction
김재훈, Ruben G. Carbonell, 김재덕
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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하드 마스크(Hard mask) 제작을 위한 TiN 박막의 증착에 관한 연구
이도영, 정지원
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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Deposition of Copper Particles and Films by the Displacement of Two Immiscible Supercritical Phases and Subsequent Reaction
김재훈, Ruben G. Carbonell, 김재덕
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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CFD Modeling of Reaction on Titanium Nitride Byproducts in CVD Trap System
방창현, 정동훈, 채희엽, 이승일, 조재효
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Aluminum coating on carbon nanotubes by using an electroplating method
소강표, 안계혁, 이영희
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Characterization of Titanium Nitride Reaction Products Formed at Various Temperatures in Chemical Deposition Processes
정동훈, 채희엽
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가|Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering
김경원, 이태권, 김호정, 이순영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
