| 번호 | 제목 |
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액적화학증착법을 이용한 BST 박막의 제조 및 전기적 특성평가|Preparation and Electrical Properties of BST Thin Films Deposited by Liquid Source Misted Chemical Vapor Deposition (LSMCVD) 정현진, 최재형, 이정용, 우성일|H. J. Chung, J. H. Choi, J. Y. Lee, S. I. Woo 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory 정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD 최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
