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저온 GaN buffer 층을 이용한 GaN 박막 성장에 관한 연구|Studies on the growth of GaN thin films by using low temperature GaN buffer layers
윤덕선, 여석기, 도창주, 한승훈, 박진호|Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Changjoo Doh, Seunghun Han, Chinho Park
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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사파이어 기판의 방향성에 따른 GaN 박막의 광학적 특성분석|Optical Properties of GaN Thin films on Sapphire Substrates with Various Orientations
이관석,여석기,윤덕선,도창주,박진호|Kwansuk Lee,Seokki Yeo,Deoksun Yoon,Changju Do and Chinho Park
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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Ga과 NH3의 직접반응에 의해 합성한 Mg 도핑 GaN 마이크로 결정의 특성|Characterization of Mg-doped GaN Micro-crystals grown by Direct Reaction of Gallium and Ammonia
이상현,남기석|Sang Hyun Lee,Kee Suk Nahm
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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Modified HVPE 법으로 성장된 GaN 에피층의 광학적 특성에 관한 연구|Studies on the Optical Properties of GaN epilayers Grown by Modified HVPE Technique
윤덕선,여석기,이관석,도창주,박진호|Deoksun Yoon,Seokki Yeo,Kwansuk Lee,Changjoo Doh,Chinho Park
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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GaN-based 발광소자에서 식각 속도에 기인한 PECVD 산화막 증착 조건에 관한 연구|Effect of Deposition Condition of PECVD SiO2 on Etch Rate for GaN-based LED
최창선,김태희,홍주형,박형조,한윤봉|C. S. Choi,T. H. Kim,J. H. Hong,H. J. Park,Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 ZnO박막의 식각 특성|Etch Characteristics of ZnO films in Cl2 based
박진수, 임연호, 최창선, 김태희, 한윤봉|J. S. Park, Y. H. Im, C. S. Choi, T. H. Kim and Y.B. Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Modified HVPE법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석에 관한 연구|Studies on the Thermodynamic Analysis of the Modified HVPE Process used for GaN Deposition
윤덕선, 이관석, 도창주, 여석기, 박진호|Deoksun Yoon, Kwansuk Lee, Changjoo Do, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Modified HVPE법에 의한 GaN 성장에 관한 연구|Studies of GaN Films by Modified HVPE Technique
이관석, 여석기, 윤덕선, 도창주, 박진호|Kwansuk Lee, Seokki Yeo, Deoksun Yoon, Changju Do and Chinho Park
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 GaN 식각 프로파일 모사|Simulation of GaN Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 최창선, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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GaN 증착에 사용되는 Modified Hydride VPE 공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of the Modified Hydride VPE Process used for GaN Deposition
서정찬, 최진식, 이관석, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Kwansuk Lee, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
