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Fabrication of ZnO Nanofilms Grown by Plasma Enhanced Atomic LayerDeposition: Structural, Optical and Electrical Properties 김진환, 김진석, 한윤봉 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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S-termination된 Ge(100)표면에 증착된 ALD HfO2 특성 임경택, 이영환, 윤미현, 임상우 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Ge표면상의 SAM passivation이 high-k deposition에 미치는 영향 임경택, 박기병, 윤미현, 임상우 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET 조기희, 이시우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Electrical characterization of interface and bulk traps in Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistors with hafnium based dielectric Tea Wan Kim, Rino Choi, Tae Young Jang 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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ALD로 증착된 ZnO 반도체층을 갖는 휨성 유-무기 박막트랜지스터의 제작과 특성평가 공수철, 최진은, 류상욱, 정우호, 전형탁, 최용준, 박형호, 장호정 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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ALD법으로 성장시킨 ZnO 박막의 RTA 처리에 따른 전기적 특성변화 장삼석, 김범준, 박지훈, 김영석, 변동진 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Deposition of TiO2 by ECR-ALD for organic substrate devices 강병우, 김웅선, 문대용, 박종완 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Photoluminescence of MgO-coated BaMgAl10O17O:Eu2+ phosphors using atomic layer deposition 김희규, 김혁종, 강인구, 최병호 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |