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ICP를 이용한 BCl3/CH4/H2/Ar, Cl2/CH4/H2/Ar chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교
이학주, 권봉수, 김현우, 김선일, 정호영, 노화영, 이내응
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system)
김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Fabrication of well-ordered diblock copolymer nanotemplates using surface neutralization by self assembled monolayer and their applications
김수진, 이성균, 맹완주, 박대호, 손병혁, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture)
백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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N2O/N2 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 건식 식각(Dry Etching of Polycarbonate in N2O/N2 Plasma)
주영우, 이제원, 김재권, 박연현, 강상구, 백인규, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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수용성 식각 잔여물의 효과적인 건식 세정법
정재목, 임권택, 김승호, 이민영
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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다층 구조를 가지는 웨이퍼 막질의 선택적 건식 식각방법
정재목, 배재현, 임권택
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
