| 번호 | 제목 |
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원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method 황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Cu CMP에서 Large sized particles이 연마속도와 표면결함에 미치는 영향|Effects of Large Sized Particles on Removal Rate and Surface Defect during Cu CMP 송재훈, 엄대홍, 홍의관, 박진구 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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원자층 화학증착법으로 제조된 WC(Tungsten Carbide)막의 증착 특성 김영재, 박준형, 김도형 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
