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초임계 이산화탄소를 이용한 효율적인 수용성 웨이퍼 에칭 residue의 제거 방법
김승호, 임권택, 정재목, 이민영
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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압전 방식 액츄에이터 제작과 전기 기계적 특성
이장근, Pham Van So, 여재진, 신상훈, 이재찬
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 마이크로 인장시편의 제조|Fabrication of Micro Tensile Test Specimens of Single Crystal Silicon Using MEMS Processes
전창성, 박준식, 이상렬, 이낙규, 이혜진, 윤대원, 강성군
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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마이크로 플라즈마 구현을 위한 MEMS 공정 개발|Development of MEMS Process for Micro Plasma Realization
장수욱, 이제원, 박민영, 유승열, 노호섭, 조관식, 박강수, 손채화, 문성진, 신동현
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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양극산화 알루미나 나노채널을 이용한 실리콘 기판의 나노 기공 제작|Fabrication of nanotrenches using the AAO nanochannels on Si substrates
최준호, 홍순구, 박문규, 조유석, 우부성, 김도진
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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알루미늄의 양극산화공정을 이용한 NbOx nanopillar의 형성
박익현, 신 별, 이장우, 정지원
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Hot Embossing을 이용한 플라스틱 CE chip 제작|Manufacturing of a Plastic based Capillary Electrophoresis Chip Using Hot Embossing
임현우, 박창화, 김인권, 차남구, 박진구, 이은규
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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(110) 실리콘 하드마스터를 이용한 멀티모드 평면 광도파로 제작|Fabrication of Multi-mode Planar Waveguide using (110) Silicon Hard Master
정유민, 김영철, 김우수, 배병수
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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MOCVD법으로 버퍼층을 활용한 ZnO 박막 제조|Preparation of ZnO thin films by MOCVD using buffer layers
박재영, 이동주, 윤영수, 문종하, 이병택, 김상섭
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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ZnO:Al 투명전도막 표면형상에 따른 pin microcrystalline 실리콘(μc-Si:H) 박막 태양전지 동작특성 분석|The effect of surface morphology of ZnO:Al TCO on device performances of pin microcrystalline silicon (μc-Si:H) thin-film solar cells
이정철, 임근식, 윤재호, 김석기, 박이준, 송진수, 윤경훈
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
