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유,무기 하이브리드 소재의 하드마스크 합성 및 건식각 특성에 관한 연구 송재동, 유제정, 김상범, 황석호, 이성구, 이경균 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
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비등방적으로 에칭된 실리콘 기판에 증착한GaN 박막의 특성연구 박승배, 김홍탁, 박진호 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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GaN의 건식식각 및 열처리에 따른 전기·광학적 특성 송창호, 김준, 변창섭, 김선태 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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첨가물에 따른 실리콘 태양전지용 텍스쳐링 용액의 식각 특성 연구 강병준, 권순우, 이승훈, 천승주, 박성은, 최수영, 윤세왕, 김동환 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각 (Reactive Ion Etching of GaAs in BCl3 plasma) 이성현, 노호섭, 최경훈, 박주홍, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime) 박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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An alternate wet etching of glass by using ammonium hydrogen fluoride base etchant 박현정, 이진수, 고영옥, 이철태 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
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ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교 권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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ICP를 이용한 BCl3/CH4/H2/Ar, Cl2/CH4/H2/Ar chemistries의 AZO와 ZnO 식각특성비교 이학주, 권봉수, 김현우, 김선일, 정호영, 노화영, 이내응 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기의 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성 민수련, 조한나, 노수진, 리유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |