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C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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초지기 프로파일 개선을 위한 공정진단 사례
김용식, 진한봉, 이재훈, 원종명
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝
신별, 정지원, 박익현
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 이장우, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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이온챔버와 필름 선량계의 비교를 통한 양성자빔 선량 측정 방법 연구|Study of proton beam dosimetry by comparison of film dosimeters and calibrated ionization chamber
박범식, 김계령, 최병호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노 임프린트 리소그라피를 이용한 template 제작 방법에 관한 연구|Study on template fabrication method using nanoimprint lithography
문강훈, 최방림, 안진호, 양기연, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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하드 마스크를 이용한 CoZrNb과 CoTb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신 별, 박익현, 정지원
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
