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다양한 슬러리 조건에서의 Ru 박막의 Etching 및 Polishing 거동|Etching and Polishing Behaviour of Ru Thin Film at Various Slurries Condition
이진형, 이상호, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 에피텍셜 BaTiO3 박막의 유전특성|Dielectric properties of BaTiO3 epitaxial thin film by RF magnetron sputtering
현태선, 최시경
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Pb(Zr,Ti)O3 박막을 이용한 마이크로 다이아프램의 제작 및 특성에 관한 연구|Fabrication and electromechanical Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Micro-Diaphragm with Various Mechanical Boundary Conditions
백준규, 신상훈, 권호준, 이재찬
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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PZT 박막을 이용한 마이크로 다이아프램의 특성에 관한 연구|Fabrication of piezoelectric micro-diaphragm and their electro-mechanical properties for various shape
백준규, 신상훈, 나선웅, 이내응, 이재찬
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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MOCVD법을 이용하여 증착된 (Ba,Sr)RuO3 박막의 특성평가|CHARACTERIZATION OF (Ba,Sr)RuO3 FILMS DEPOSITED BY MOCVD
김병수, 김윤수, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Pt 박막히터에 의해 결정화시킨 PZT 박막의 전기적 특성|The electrical properties of crystallized PZT thin films by Pt thin film heater
송남규, 김병동, 박정호, 윤종인, 정인영, 주승기
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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RF-스퍼터링을 통한 수소함량에 따른 ZrO2전해질의 특성분석
정주현, 이태희, 윤영수
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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반도체 및 디스플레이에서의 전해도금과 무전해도금
김재정, 이창화
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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고주파수 수정진동자를 이용한 가스센서의 고감도에 대한 연구|The Study for Increasing the Sensitivity of Gas Sensor by Using QC of High Frequency
박진영, 愛澤秀信, 黑澤茂, 한대상, 장상목|Jin-Young Park, Hidenobu Aizawa, Shigeru Kurosawa, Dae-Sang Han, Sang-Mok Chang
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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RuO2 하부전극의 열적 안정성과 BST 박막의 조성에 미치는 영향에 대한 열역학적 계산|Thermodynamic Evaluations for the Thermal Stability of RuO2 Bottom Electrode and its Effects on the Compositions of BST Thin Film
오윤진, 정찬화|Youn-Jin Oh, Chan-Hwa Chung
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
