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Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
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pMOS gate stack capping layer의 고선택비 습식에칭 기술연구 오지숙, 윤미현, 임상우 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Wet cleaning 공정 시 DI water의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구 장재규, 윤민상 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Effect of Gas Injection in Inductively Coupled Plasma with Fluorocarbon Plasma using Computational Fluid Dynamic Simulation 황진하, 김대경, 김민식, 박근주, 채희엽 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각 (Reactive Ion Etching of GaAs in BCl3 plasma) 이성현, 노호섭, 최경훈, 박주홍, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime) 박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Surface Texturing of GaN Surface using Block Copolymer Template 황동준, 김태준, 김홍렬, 김지현, 방준하 한국고분자학회 2008년 봄 학술대회 |
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Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구 박주홍, 이제원, 김재권, 이성현 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발 강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors 윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |