화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 스핀정보를 이용한 메모리 소재 및 소자
신경호
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
4 자성 박막의 건식 식각
송영수, 정지원
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
3 MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각
박형조, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
2 MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
1 NiFe, CoFe 박막의 습식 식각 특성|Wet etch characteristics of NiFe,CoFe thin films
변요한,김혜인,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회