번호 | 제목 |
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쵸크랄스키 실리콘 결정내 점결함의 동적거동|Transient Behavior of Point Defect in CZ Silicon Crystals 김광훈,최일수,왕종회,이홍우|Kwang Hun Kim,Il Soo Choi,Jong Hoe Wang,Hong Woo Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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변분법을 이용한 실리콘 단결정 내부의 점결점 제어를 위한 표면 온도 분포 최적화|Optimization of surface temperature distribution for point defects control in the silicon single crystal by using the variational principle 우화성, 정자훈, 강인석|Hwa Sung Woo, Ja Hoon Jeong, In Seok Kang 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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실리콘 초클랄스키 공정에서 점 결함 밀도에 대한 공정 변수의 영향 연구|Study of the effects of operating parameters on the densities of point defects in silicon single crystal in Czochralski process 김종선, 이태용|Jong-Seon Kim, Tae-Yong Lee 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |