화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 쵸크랄스키 실리콘 결정내 점결함의 동적거동|Transient Behavior of Point Defect in CZ Silicon Crystals
김광훈,최일수,왕종회,이홍우|Kwang Hun Kim,Il Soo Choi,Jong Hoe Wang,Hong Woo Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
2 변분법을 이용한 실리콘 단결정 내부의 점결점 제어를 위한 표면 온도 분포 최적화|Optimization of surface temperature distribution for point defects control in the silicon single crystal by using the variational principle
우화성, 정자훈, 강인석|Hwa Sung Woo, Ja Hoon Jeong, In Seok Kang
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
1 실리콘 초클랄스키 공정에서 점 결함 밀도에 대한 공정 변수의 영향 연구|Study of the effects of operating parameters on the densities of point defects in silicon single crystal in Czochralski process
김종선, 이태용|Jong-Seon Kim, Tae-Yong Lee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회