| 번호 | 제목 |
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ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구|Optimized Surface Pre-treatments for Cu Electroless Plating in ULSI Device Interconnection 차승환,김재정|Seung Hwan Cha,Jae Jeong Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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화학기상증착법을 이용한 Titanium Nitride의 제조|Synthesis of titanium nitride from tetrakis(ethylmethylamino) titanium by the thermal CVD 김성재, 김도형|Seong-Jae Kim, Do-Heyoung Kim 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
