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학술대회 목록보기

번호	제목
22	Slanted plasma etching for the fabrication of copper nanorods 조성운, 김창구 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
21	Fabrication of three dimensional Cu nanostructures 조성운, 김창구 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
20	Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
19	The role of steady-state fluorocarbon film during SiO₂ etching in C₄F₆/Ar/O₂/CH₂F₂ plasmas 조성운, 김창구 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
18	Effect of CH₂F₂ addition on angular dependence of SiO₂ etching in a C₄F₆/O₂/Ar plasma 조성운, 김창구 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
17	Angular dependence of SiO₂ etch rates in C₄F₆/Ar/O₂and C₄F₆/Ar/O₂/CH₂F₂ plasmas 조성운, 김창구 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회
16	Angular dependence of Si₃N₄ etch rates and SiO₂ to Si₃N₄ etch selectivity in a C₄F₆/Ar/O₂/CH₂F₂ plasma 조성운, 이진관, 문상흡, 김창구 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회
15	Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage 이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
14	Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching 박창한, 이형무, 윤형진, 김태호, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
13	Change of amorphous phase on crystallization of oriented amorphous PET 전혜진, 강민관, 송현훈 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회