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Patterning of vanadium pentoxide (V2O5) nanowires by µ-contact printing technique via selective etching process
구재필, 김용관, 박성준, 김규태, 하정숙
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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평판형 유도결합 BCl3/CF4 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl3/CF4 Plasma
유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구|A study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas
장수욱, 류현우, 최충기, 문준희, 이장희, 유승열, 임완태, 이제원, 전민현, 조관식, 송한정, 백인규, 권민철, 문성진, 신동현
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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양극 산화 알루미나 템플레이트를 이용한 나노팁 어레이의 제조|Fabrication of Nanotip arrays Based on AAO Template
황선규,이건홍|Sun-Kyu Hwang,Kun-Hong Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma
박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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Ordered Pattern Formation and Magenetic Metal Impregnation in PS-b-PMMA Thin Films by Using Selective Etching
최대근, 양승만
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
