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Inorganic Nanofibers 김학용 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Preparation of photocatalytic TiO2 thin films by atomic layer deposition using TDMAT and H2O2 로자나, 김도형 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD 조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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고유전 산화막 Lanthanium oxide의 PEALD 증착법|Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Lanthanium oxide for High-k gate dielectric 이은주, 고명균, 김범용, 박상균, 김헌도, 박종완 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Al 조성 변화에 따라 원자층 증착법으로 성장된 Hf-Al mixed oxide 박막의 특성|Characteristics of Hafnium-aluminum-oxide Thin Films Deposited by Using Atomic Layer Deposition with Various Aluminum Compositions 김석훈, 최지훈, 강현석, 우상현, 홍형석, 전형탁 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구|The Characteristics of HfO2 Thin High-k Gate Oxide Deposited by Direct and Remote Plasma Atomic Layer Deposition Methods. 김인회, 국승우, 김석훈, 전형탁 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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ZnO 성장을 위한 Atomic layer deposition법에서 공정온도가 박막의 구조적 광학적 특성에 미치는 영향|Effects on substrate temperature on the microstructure and photoluminescence properties of ZnO thin films by atomic layer deposition 임종민, 조용준, 이종무 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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원자층 증착법으로 SiO2 박막이 코팅된 BaMgAl10O17:Eu2+ 형광체 분말의 발광 특성 향상|Improvement of Luminescent Properties of BaMgAl10O17:Eu2+ Phosphor Powder Coated SiO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition 김휴석, 김민완, 김형수, 김혁종, 정영규, 김석환, 이상우, 최병호 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition and applications for displays 김형준 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Investigation of WN growth by Atomic Layer Deposition using a new precursor ; (t-BuN)2(NMeEt)2W 김은정, 김도형 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |