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플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략 구준모, 하대근, 한종훈 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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터치 센서용 Cu 메탈 메쉬 패턴의 특성 노치형, 한애진, 곽민기, 홍성제 한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
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Confined liquid crystal phase in the hierarchically self-assembled helical nanostructure 윤동기 한국고분자학회 2014년 봄 학술대회 |
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Directional slanted plasma etching of silicon under practical plasma processing conditions 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Layer by Layer Control of MoS2 Film through Atomic Layer Etching System 임태철, 전민환, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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3차원 실리콘 나노 구조물을 이용한 고효율 유·무기 하이브리드 태양전지 제작연구 정필훈, 최학종, 추소영, 이헌 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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마이크로-나노 구조물이 형성된 음극 제조 및 이를 이용한 고효율 리튬 이온 이차 전지 제작 현석, 이헌, 신주현, 유상우, 유연재 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구 권용현, 신경섭, 황기현, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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나노임프린트 리소그래피와 비등방성 화학 식각기술을 이용한 고종횡비 3차원 실리콘 나노 구조물 제작연구 정필훈, 조중연, 최학종, 추소영, 유상우, 이헌 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |