화학공학소재연구정보센터
번호 제목
146 플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략
구준모, 하대근, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
145 Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
144 터치 센서용 Cu 메탈 메쉬 패턴의 특성
노치형, 한애진, 곽민기, 홍성제
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회
143 Confined liquid crystal phase in the hierarchically self-assembled helical nanostructure
윤동기
한국고분자학회 2014년 봄 학술대회
142 Directional slanted plasma etching of silicon under practical plasma processing conditions
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
141 Layer by Layer Control of MoS2 Film through Atomic Layer Etching System
임태철, 전민환, 염근영
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
140 3차원 실리콘 나노 구조물을 이용한 고효율 유·무기 하이브리드 태양전지 제작연구
정필훈, 최학종, 추소영, 이헌
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
139 마이크로-나노 구조물이 형성된 음극 제조 및 이를 이용한 고효율 리튬 이온 이차 전지 제작
현석, 이헌, 신주현, 유상우, 유연재
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
138 CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구
권용현, 신경섭, 황기현, 염근영
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
137 나노임프린트 리소그래피와 비등방성 화학 식각기술을 이용한 고종횡비 3차원 실리콘 나노 구조물 제작연구
정필훈, 조중연, 최학종, 추소영, 유상우, 이헌
한국재료학회 2014년 봄 학술대회